中华精测推出全新混针技术MEMS探针卡

依据全球半导体研调机构VLSI统计，全球晶片测试探针卡（Probe Card）今年将维持成长走势，其中扮演主流针种的MEMS探针卡市场规模，将于今年突破16亿美元大关，且未来5年的年复合成长率将超过整体探针卡的成长表现；随着半导体晶圆测试朝向高速、高频以及微间距制程发展，MEMS探针卡已然成为半导体测试介面的主流。

中华精测顺应半导体产业高阶晶圆测试介面成长需求，自2016年跨入MEMS探针卡市场进行研发，为了提高自制比例，启动「石中剑计画」。经研究开发至客户实测发现，MEMS探针卡具备微接触力、微间距、高针数、大电流、维修易等优点，可满足客户晶圆工程验证及量产测试之所需，成功突破传统探针卡的瓶颈，成为晶圆测试探针卡主流。

中华精测具备开发与制作MEMS探针的自有技术，为探针卡客户设计、制作符合先进制程之高效能探针卡。因此，本公司的MEMS探针卡除具有上述各优点外，为能符合半导体异质整合趋势，正式发表本公司首创的MEMS探针卡混针技术，该技术可以让不同规格的MEMS探针同时、同步完成晶圆测试，以满足异质整合晶片的测试作业。

展望未来，中华精测将秉持研发创新精神在测试介面与MEMS探针卡扎根，运用完整的M（机构）、E（电学）、C（化学）、O（光学）研发能量，与全球半导体客户，持续进行多项客制化产品开发，共创「5G为底、AI为用」新科技时代。