真空泵浦台厂锋魁订单满手

半导体及光电产业真空泵浦维修技术服务、新机生产销售及工厂智慧自动化系统建置业务厂商锋魁科技（7530），为台积电供应链成员之一，预计11月24日登录兴柜。锋魁生产线现今供不应求，第四季可望赚赢前三季，法人预估锋魁今年全年每股净利可达1元，并积极投入扩产，目标增加二倍半产能，新产能将自明年第四季起逐步开出。

锋魁董事长张锦发表示，以半导体业为例，因制程要求环境洁净度严苛，须利用高速率真空泵浦抽气产生负压的洁净环境，才可完成化学气相沉积制程。真空泵浦设备有效的抽气对需要真空、负压环境的半导体制程，产品良率有着巨大的影响，因此扮演极为重要角色。

真空泵浦原为日本及英国厂商专有市场，一台约2万到3万美元，过去锋魁以维修与耗材为主，而这几年投入自行研发后，已能供应真空泵浦的新机。随着全球晶圆厂积极投入扩产，对真空泵浦需求强劲，如28奈米月产3万片的厂区需要2000台到2500台，至于台积电3奈米需求至少超过5000台，锋魁满手订单，且包括维修、零件与新机等接单畅旺、产能供不应求。

锋魁设立于2007年8月，台积电为其最大客户，目前以维修与供应为主，后续新机可望打入供应链。另外，包括联电、力积电的新机採购订单到位，世界先进已经小量出货，同时三星及华虹也认证通过展开供货。

锋魁目前新机产线中，真空泵浦年产能可达400台，因应客户需求强劲决定投入扩产，希望增加1000台的年产能，新产能预计明年第四季起开始逐步开出。另外，厂务工程大厂帆宣及半导体设备厂辛耘是锋魁前二大法人股东。