新型的微影机每台造价超过3亿美元,将协助英特尔制造更小和更快的晶片。
艾司摩尔在X平台发表了一张照片,显示该机器的一部分正从荷兰的Veldhoven市总部出发,机器放在一个保护壳里,周围繫着一条红带。
艾司摩尔在声明中说:「我们很高兴、并自豪地把我们第一台High NA EUV系统运送给英特尔」。
艾司摩尔主导着全球微影系统市场,该机器使用雷射光来创造晶片的电路。High NA EUV机台组装起来会比一辆卡车更大,目前正装在250个独立的箱子运输,其中包括13个大型货柜。预计该系统将在2026年或2027年开始正式投入于商业晶片制造。
英特尔是在2022年首次下订High NA EUV。已经下订该款机台的大厂包括台积电(2330)、三星电子、SK海力士、美光。
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