传统上,制造商需要使用不同的测试仪器分别量测晶圆的高、低电压。然而,随着功率半导体因其多功能性、高性能及新一代设备(如碳化硅SiC和氮化镓GaN)的需求迅速增长,客户迫切需要更准确、高效的量测解决方案,以缩短产品上市时间。是德科技的新系统正是为了应对这些需求而设计,协助功率设备制造商在生产过程中进行制程控制监控(PCM)和晶圆接受测试(WAT)。
该测试系统具备多项优势。首先,其高电压开关矩阵(HV-SWM)支援高达3kV的需求,可扩充至29个针脚,并与高精密电源量测设备(SMU)整合,能在低电压如sub-pA到3kV高电压之间灵活进行精密量测。此外,该系统能够执行高压电容量测量及各种参数测试。透过单一测试系统取代传统分离的高、低电压测试,显着提高生产效率,并缩减测试所需空间与时间。同时,该系统透过是德科技的SPECS-FA软体整合工厂自动化环境,进一步提升整体生产效率。
在安全性和可靠性方面,该测试系统内建电路保护和机器控制功能,确保操作人员及设备免受高电压突波影响,并符合SEMI S2标准等相关安全法规。
是德科技副总裁暨晶圆测试解决方案事业群总经理Shinji Terasawa表示:「我们很高兴能在长期测试先进半导体的基础上,推出这款专为功率半导体设计的全新晶圆测试系统。我们的使命是通过提供最顶尖的解决方案,预见并满足半导体产业快速发展的需求,进而引领市场。此项创新展现了我们对产业的坚定承诺。」
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