台特化在沉积材料的硅基气体外，最新量产产品是无水氟化氢AHF，为首支应用乾式蚀刻的自制产品，去年才获客户确认，今年开始出货并且渐渐放量，将成为未来3年营收成长的主要动能来源之一。
台特化自制产品包括硅乙烷、硅丙烷、无水氟化氢(AHF)，其中由于AHF是去年底至今年初逐步量产出货，去年主要营收比重仍是硅乙烷、硅丙烷占约65%、代理硅甲烷与其余产品线约35%。
台特化去年全年营收8.74亿元、税后净利3.86亿元、EPS 2.74元均是营运新高，而台特化今年前2月合併营收则是1.48亿元、年减约7%。
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