准力机械股份有限公司,研发新型JL-D16双面研磨机抛光机,具备双面研磨机,与抛光机功能,在疫情期间及展示会上谘询度高,在晶圆机中异军突起,可望获得佳绩。
准力公司董事长林馨堂表示,JL-D16双面研磨机,晶圆加工机在今年9月底自动化展出谘询度这么高,有一点受宠若惊,很难想像出问题何来,在今年9月半体展中也这么热络,今年展中特别引人注目,成为全场的焦点。
JL-D16双面研磨机能同时为平面工件双面研磨或抛光。适用非金属及硬碎材料之表面加工,包括:硅晶圆、石英、SIC、玻璃、蓝宝石、陶瓷基板,以及加工金属材料,如铝材、不锈钢和机械油封等,JL-D16採用行星式旋转磨盘、正逆转机构之设计,使研磨后之工件具有优异的平面度、平行度和表面精度。
採用超大磨盘外径一次能放置五个DP12,200齿的行星式夹具,再搭配电控比例阀之压力控制方式,确保大量生产之加工效率。准力注重品质与加工能力,JL-D16的最小加工厚度可达0.4MM,且产品加工后的表面精度可达到 0.3UM。
另外,JL-50400CNC滑轨研磨,採用双跨型门柱与矩形结构横梁的组合,拥有最佳的结构刚性、稳定性、及热对称结构性,主轴头头部悬伸大幅的缩短,提升了加工、进给、定位精度。尤其底座内部为8字倾斜肋设计,将轨道承受的力量分流到地脚螺丝,更能保持精度。
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