台积改良氢氟酸 减碳大跃进

预计全面导入后1年可减碳逾2万公吨，相当于58座大安森林公园1年的二氧化碳吸附量，持续创造资源循环价值。

台积电释出最新ESG年报，本次主要聚焦在氢氟酸提炼过程，能更达到永续经营。台积电表示，氢氟酸是半导体湿式蚀刻制程的重要化学品，一般以萤石为原料，因取得不易且精炼程序繁复，产制过程较难降低碳排放量。

台积电指出，推动绿色低碳供应链为公司ESG的重要一环，为促进环境永续发展，2021年起与供应商合作投入氢氟酸替代原料可行性研究，利用磷肥产制过程衍生的废料─氟硅酸搭配硫酸进行化学反应后产制氢氟酸，且品质符合半导体制程标准。

台积电除辅导供应商提前于进料阶段即提供品质保证证明（CoA）外，同时协助其开发独立产线进行测试，经反覆调整以达制程最适化，确保后续生产品质无虞。

台积电表示，公司正携手供应商以磷肥废料替代萤石，在不影响原有制程品质的前提下成功产制氢氟酸，截至2023年2月已导入晶圆12A厂、晶圆15A厂，减少萤石用量、减碳317公吨，其他12吋晶圆厂区亦同步进行试产，预计全面导入后1年可减碳逾2万公吨，相当于58座大安森林公园1年的二氧化碳吸附量，持续创造资源循环价值。