拜登再擋ASML出貨陸企 中芯先進製程能靠12億美元大單？

半導體設備大廠荷蘭商艾司摩爾（ASML）獨家供應的極紫外光(EUV)微影設備，成為晶圓代工領域跨入先進製程技術的關鍵設備，隨著全球半導體供應鏈因陸美競爭開始變化，大陸晶圓代工龍頭中芯國際原先訂購的EUV機台至於不見蹤影。外媒指出，拜登政府延續前朝政策，依舊不把任何1台EUV機台出貨給陸企。

中芯國際2018年跟ASML訂購EUV機台，但卻在2019年遭到川普政府出手阻撓，導致中芯國際無法取得至關先進製程發展的EUV機台。當時ASML回應，是為了遵守《瓦聖納協議》，須等待荷蘭政府審核出口許可，才能出貨中芯國際。不過，中芯國際今年3月重新跟ASML簽約，12億美元的訂單，主要用來採購深紫外光(DUV)微影設備，期限到今年底。

據《華爾街日報》報導，ASML的設備為英特爾、三星電子以及蘋果晶片供應商台積電生產先進製程晶片，大陸也希望國內的晶片製造商可以取得這台要價1.5億美元的設備，替華為這些陸企製造晶片，但由於美國政府的壓迫，荷蘭政府沒有發放EUV機台出口至大陸的許可證。

有美國官員指稱，拜登政府出於國家安全考慮，已要求荷蘭政府限制銷售EUV機台，延續了川普政府的政策。ASML執行長Peter Wennink曾表示，出口管制恐適得起反，有關半導體領先地位做為國家戰略的一部分，各國政府需要考慮清楚的是，如果過度禁止，將阻礙該產業研發與創新能力。

川普政府時期的國家安全顧問Charles Kupperman曾在2019年邀請荷蘭外交官前往白宮會談，他回憶當時情況，當時他對荷蘭外交官指出，盟國間不該出受這類設備給大陸，如果沒有美國提供零組件，ASML就無法運轉，並且白宮有權限限制向荷蘭出口這些零組件。實際上，ASML旗下負責生產關鍵零組件的公司，就是美國企業。

報導指出，目前白宮不打算對荷蘭施加新的壓力，打算透過合作方式對出口管制達成共識，但這可能導致包括ASML等半導體生產設備商面臨供應困境，導致本來就相當緊繃的半導體供應鏈更加充滿危機。

ASML為20世紀90年代從荷蘭大型科技公司皇家飛利浦(Royal Philips NV)分拆出來，該公司專門生產用於刻蝕工藝的半導體生產設備。

目前ASML的EUV機台運用在台積電、三星電子量產5奈米製程晶片，甚至延用至3奈米製程，這也成為2大晶圓代工廠爭取客戶採用的關鍵設備，如今英特爾宣布啟動IDM 2.0計畫，也將大量採用EUV技術製造晶片。至於中芯國際，因無法取得ASML的EUV機台，目前先進製程研發在14奈米、N+1、N+2製程止步，讓市場傳聞包括中芯國際等陸企在市場大量收購二手設備。

由於台積電曾用DUV的193nm浸潤式ArF微影及多重曝光，生產早期7奈米製程，中芯國際3月這份與ASML簽訂的DUV機台12億美元大單，是否能順利到貨，成為中芯國際發展先進製程的關鍵。