《半導體》台積電物聯網智慧節能系統 年節能效益8500萬元

台積公司致力實踐綠色製造，持續以創新技術追求能源與資源最佳使用效率，繼引領業界開發世界級半導體綠色機台，更在不影響生產機台效能的前提下，打造「iSystem物聯網智慧節能控制系統」。

半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體，一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉，為提高能源使用效率，民國105年，台積公司攜手供應商開發及導入「iSystem物聯網智慧節能控制系統」，將其做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑，使其可依生產機台使用的製程氣體，同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。除了節能模式，進一步開發附屬設備的睡眠模式(Sleep Mode)與休息模式(Rest Mode)，當生產機台於較長時間未運轉時，可節省更多能耗。

為更系統化落實節能行動並確保成效，民國109年，台積公司將「ISO 50001(Energy Management System, EnMS)能源管理系統」導入iSystem，且開發建置iSystem異常管理系統與節能報表系統，以利更精準掌握能源使用量，並進一步計畫將能耗資料儲存於雲端。

為擴大節能效益與使用範圍，台積公司尋求與其他半導體設備供應商合作，所有製程及生產機台的附屬設備皆計畫導入智慧節能機制，目前除了晶圓十五B廠持續進行應用開發與建置外，晶圓十八廠於民國110年開始導入，並將逐步推展至台灣廠區所有十二吋晶圓廠，預計未來每年可省電8,200萬度、減少84,600公噸碳排放量，創造新台幣5億2,000萬元的節能效益。