據新浪科技報導,華為旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領域,入股由中科院微電子所控股的科益虹源公司。
科益虹源的名字並不為產業外的人熟悉,該公司的控股股東是中科院微電子所,持股26.6%,主要業務就是光刻機中的三大核心技術之一的光源系統,是大陸國內第一、全球第三的193nm ArF準分子雷射器企業。
從企業資訊來看,北京科益虹源光電技術公司日前發生了變化,註冊資金從1.2億元(人民幣,下同)增加到2.02億元,增長68%,主要是投資人多了,其中就有華為旗下的哈勃投資,占股4.76%,成為第七大股東。
2020年4月份,科益虹源積體電路光刻光源製造及服務基地專案開工建設。該專案由北京科益虹源光電技術有限公司投資建設,總投資5億元,建築面積1.2萬平方公尺,年產RS222型光刻準分子雷射器、光刻用準分子雷射器、405光纖耦合頭等各類設備30台(套)。
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