氣候變遷加劇,綠色再生能源、產業朝零碳生產刻不容緩,完成全球唯一電子級氨氣回用量產實例的亞氨科技,已在大陸廈門為LED大廠開發晶,建置全球首座電子級特氣回用設備。

亞氨科技表示,半導體廠使用的純氨回收製程中雖須使用電能而間接產生CO2,但比起直接使用純氨的CO2產出量減少逾7成,亦即每使用1噸亞氨氨氣回用製程產出的氨氣,可為全世界減少3噸CO2排放,而達成真正的「淨零排」。

亞氨科技指出,將環保法規分類為事業廢棄物而須再利用的氨水,不僅轉化為化工產品而不再是廢棄物,更再純化為99.99999%的電子級氨氣。

另一項更大應用為晶圓廠的APM清洗晶圓製程中使用電子級氨水,目前已有美商半導體晶圓廠在建置將原先須經高溫觸媒分解的低濃度氨氣(水)予已回收,再製成20%濃度的工業氨水供其他化工產業運用,最終目標為將氨氣回收制程使用,成為再生物料。

亞氨表示,該公司的氨氣回用系統,將氨水提純至高純電子級氨氣的COA更達7N等級,製程中廢氨氣溢散量小於1PPM,製程廢水最低可達10PPM(遠低於法規之30PPM),每公斤電子級氨氣產出能耗成本不到3度電,不僅達到經濟效益、且完全符合循環經濟理念,及開創半導體氨氣回用的創新領域。

亞氨指出,氨氣回用不僅可大幅降低廠商購買純氨成本,更符合ESG的廠內減廢要求,電子級氨氣回用系統除了已量產,並回用逾三年的開發晶照明(廈門)有限公司外,另包括以自有資金投入於2019年6月成功上線的台灣隆達電子(現為晶電N5廠)。

近年來各主要工業國家特別是歐盟持續大力推動循環經濟,亞氨強調,憑藉在LED電子級氨氣回用上量產,及純度猶優於國際特氣大廠的實績下,將持續加速推展半導體晶圓廠內回收再製成純氨氣與電子級氨水並回用於製程項目,也跨足顯影液回用及CMP廢水回收領域,大幅減少廢水排放。

#亞氨 #純氨 #氨氣回用 #製程中 #回收