台積電已是全球擁有最大EUV產能的半導體廠，3奈米如期在下半年進入量產，2奈米研發進度亦略有提前。台積電2奈米採用奈米層片（Nanosheet）的環繞閘極電晶體（GAAFET）架構，業界傳出亦將首度採用High-NA EUV微影技術量產。
台積電已在竹科寶山二期興建Fab 20超大型晶圓廠，將成為2奈米生產重鎮，共興建4座12吋廠，預計2024年下半年進入風險性試產，2025年進入量產。業界指出，台積電仍持續擴大採購EUV設備，包括明年下半年推出的NXE: 3800E及2025年推出NXE: 4000F新機型，同時已下單採購High-NA EUV曝光機。
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