台積電2020年宣布將於美國亞利桑那州興建12吋晶圓廠Fab 21廠，已於7月底舉行上樑慶祝典禮，將於12月舉辦首批機台設備到廠（First tool-in）慶祝典禮。公司先前表示，Fab 21廠初期將生產5奈米製程，預計2024年開始量產、首期月產能2萬片。
《路透社》去年報導指出，台積電計畫在亞利桑那州興建多座晶圓廠，計畫包括下一座工廠是否應採用如3奈米的更先進技術。《華爾街日報》周三則引述消息人士指出，台積電規畫在未來幾個月宣布，將在5奈米廠旁再建造一座3奈米新廠。
《華爾街日報》表示，台積電亞利桑那州3奈米新廠投資規模，將相當於2年前承諾的120億美元。台積電對此表示，目前興建中的亞利桑那州晶圓廠，包括一部份可能用於二期廠房的建築，透過利用一期同時建設資源來提高成本效益，能讓公司維持未來擴張靈活性。
不過，台積電表示，目前為止尚未確定亞利桑那州晶圓廠二期規畫。鑒於客戶對公司先進製程的強勁需求，將就營運效率和成本經濟因素來評估未來計畫。至於是否在美國亞利桑那州擴大投資興建3奈米新廠，台積電並未正面回應。
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