台積電機台改造 年減碳排4473公噸、省電891萬度

國發會於30日宣布台灣2050淨零碳排路徑圖，台積電也強調將積極實踐綠色製造，優化製程能源使用效率，台積電昨日宣布，攜手設備供應商針對測試機台開發「智能壓縮乾燥空氣（Compressed Dry Air，CDA）流量控制系統」，透過精準控制壓縮乾燥空氣流量輸出開關，不僅節省測試機台70％ CDA的用量，同時達到省電效果，每年可減少碳排放量4473公噸、省電891萬度。

台積電董事長劉德音日前指出，我國近期氣候變遷法修法將2050淨零碳排目標納入其中。要如何達到淨零碳排目標，並因應歐盟將實施之碳邊境調整機制，將是半導體界未來幾年面臨的最大挑戰。

台積電昨日宣布開發出新技術，可擷取測試機台參數精準控制壓縮乾燥空氣輸出，省量又節電，台積電指出，晶圓測試的目的為確認每片晶圓的可靠度與良率，依不同測試環境需求，部分測試機台由廠務系統全時段供應壓縮乾燥空氣以確保低溫時仍保持乾燥，維持測試環境的穩定性。

因半導體製程快速演進使測試需求持續增加，為提升機台運作與壓縮乾燥空氣使用效率，測試營運處於民國前年第3季啟動「智能CDA流量控制系統開發專案」，與設備供應商合作改造測試機台管路、控制閥件及控制軟體系統，透過擷取機台參數，可依據測試環境需求自動控制CDA流量開關，非低溫測試環境時即關閉控制閥，達到有效節省CDA用量與電力的效益。

台積電預計今年第4季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新，並將智能CDA流量控制系統列為新建先進封測廠測試機台標準設計，預估至2026年可年省4000萬度電、減碳20080公噸，相當於52座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量。